О ВОЗМОЖНОСТИ ПОВЫШЕНИЯ РАБОЧЕЙ ТЕМПЕРАТУРЫ И РЕСУРСА РАБОТЫ СИЛИТОВЫХ НАГРЕВАТЕЛЕЙ ПРИМЕНЕНИЕМ СЭНДВИЧ СЛОЕВ КАРБИДА КРЕМНИЯ И ДИСИЛИЦИДА МОЛИБДЕНА

Сопротивление силитовых (карбид кремниевых) нагревателей, обеспечивающих температуру 1400-1450 ⁰С со временем работы при высоких температурах увеличится из-за окисления и частичной сублимации карбида кремния, т.е. они «стареют». Ранее нами был предложен способ восстановления «постаревших» силитовых нагревателей путем покрытия их рабочих частей слоем карбида кремния. Однако, исследования рабочих параметров силитовых нагревателей, восстановленных покрытием слоем карбида кремния, по предложенному способу показали, что их рабочий ресурс невелик. Поэтому с целью установления причин низкого ресурса работы были исследованы свойства слоев карбида кремния, полученных на отработавших рабочий ресурс и «постаревших» силитовых нагревателях. Результаты исследований показали, что причиной низкого ресурса работы являются увеличение пористости слоев карбида кремния со временем работы в условиях термоциклирования при высоких температурах, а также окисление и частичная сублимация карбида кремния. Предложен способ и показана возможность восстановления и увеличения рабочего ресурса и рабочей температуры «постаревших» нагревателей путем применения сэндвич слоев карбида кремния и дисилицида молибдена.